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Conference Introduction

会议简介

纳米压印技术自1995年发明以来，至今经历了二十多年的技术发展历史。因其优异的技术特点：高分辨，低成本，高产能，诞生之初就被认为是一种明星技术，是纳米光学的里程碑，被美国麻省理工科技周刊评为“将改变世界的十大新兴技术之一”，得到了学术界和产业界的广泛关注，被纳入到国际半导体产业技术发展蓝图（ITRS）。


随着纳米压印技术的推广，其优势和重要性越来越被人们所重视。国内各大科研院所和高校的微纳加工平台都广泛安装了纳米压印设备，一些顶级研究院所甚至安装了多套的纳米压印设备。据不完全统计，目前在全国安装的纳米压印设备超过100台套，有数百个课题组和项目组在进行或者已完成纳米压印技术相关的课题研究，国内纳米压印技术发展步入快车道。


但是，纳米压印技术的蓬勃发展不仅仅依托于学术界的科技积累，更是依靠于产业界的不断夯实和验证。1999年，纳米压印技术开始走向市场，国际上最早成立的Nanonex公司，Obducat公司以及美国的Molecular Imprint Inc.都为纳米压印技术的发展和推广做出了重要贡献。Suss，EVG的加入也促进和推动了纳米压印技术的工业化进程。近几年，产业界的大批量、高精度的微纳加工需求开始呈现井喷式爆发，以中国市场尤为明显。其需求呈现在多个领域，包括微纳光学元器件，如AR镜片，DOE，TOF以及MLA等应用场景；生物医药健康领域，如生物芯片，微流通道，微针等应用场景。在这些领域涌现出一大批高科技初创公司，一些大型的上市公司也开始在纳米压印技术领域布局，投入了大量的经费和资源，不断赋能相关产业链，助力纳米压印技术的发展。国内纳米压印技术的研发公司也为此贡献了巨大的努力，从2001年成立的苏大维格、2008年成立的无锡英普林到2012年的苏州光舵，以及最近一批产业界新星：青岛天仁、上海埃眸、杭州欧光芯、西安华天慧创，将我国的产业化纳米压印技术推向一个新的高潮。


但可惜的是，时至今日国内尚无纳米压印领域的专业会议，即使是相关学术会议的分会论坛也很少见纳米压印主题。相比之下，海外纳米压印主题学术会议很早就开始举办，如美国EIPBN会议，欧洲MNE会议以及日本MNC会议在纳米压印技术发展的初期就开设有纳米压印技术分会。2002年第一届NNT会议的召开，意味着国际纳米压印技术领域的工作者们都拥有了一个专属于纳米压印行业的交流平台。


在此形势下，姑苏实验室联合苏州纳米科技发展有限公司、INL、Obducat公司等，在苏州定期举办NTAC ——全球纳米压印技术与应用大会，旨在为纳米压印技术学术界和产业界的优秀人才提供跨学科开放交流与互动的平台，聚合顶级行业资源，聚焦纳米压印技术创新，聚力产业共建共赢，打造中国纳米压印领域现象级盛会，为加速突破纳米压印技术制造领域发展瓶颈贡献微薄之力。

Conference Organizers

会议组织

主办单位

    • 姑苏实验室
    • INL

承办单位

    • 苏州纳米科技发展有限公司
    • Obducat
    • 苏州新维度微纳科技有限公司

Main Topics

主要议题

Speakers

演讲嘉宾

3月1日
A201-A203
日期：3月2日
地点：A201-A203
演讲嘉宾（待更新）
Andrea Kneidinger
（EV集团 业务开发经理）
纳米压印光刻技术在新型装置和应用领域的现状与前景

      个人简介：Andrea Kneidinger是EV集团的业务开发经理，她主要负责微纳米压印光刻技术在应用领域的推广实现，尤其是纳米光子学和圆晶级光学行业。Andrea在Deggendorf科技学院和布达佩斯科技大学学习技术和创新管理专业，并获得了工程硕士学位。在电气工程和产品管理方面，她积累了数年的工作经验，特别是材料学、光学和光子学。

      摘要：近年来，圆晶级纳米压印光刻技术（NIL）逐渐成为驱动整个光子行业新设备和新应用发展的核心动力。光学传感器、增强现实(AR)装置以及生物芯片的先进制造商们已经将NIL技术用于生产，并从中获益，包括以低成本实现微米级和纳米级结构的规模化生产。

演讲嘉宾（待更新）
高育龙（拟请）
（昇印光电(昆山)股份有限公司）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
彭博方（拟请）
（苏州芯澈半导体科技有限公司）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
冀然
（青岛天仁微纳科技有限责任公司 董事长）
纳米压印光刻：AR衍射光波导生产解决方案

      个人简介：冀然，青岛天仁微纳科技有限责任公司董事长，创始人。拥有德国亚琛工业大学硕士学位和德国马普微结构物理所博士学位，师从欧洲纳米压印之父Kurz教授开创了纳米压印设备和材料的商用领域，在纳米压印和微纳加工领域拥有二十年经验。博士毕业后在德国半导体设备上市公司负责纳米压印设备开发和产业化推广，任纳米压印技术首席科学家。2015年归国创办青岛天仁微纳科技有限责任公司，经过短短几年的时间发展，公司的纳米压印设备和全套解决方案打败国际诸多竞争对手，占领国内微纳光学和生物芯片生产的超过90%市场份额。

      摘要：随着纳米压印技术的渐渐成熟，近几年开始越来越多的被应用在微纳光学领域，如衍射光学元件 DOE、微透镜阵列、AR 波导光栅等。微纳光学元件的应用领域非常广泛，如 3D 传感、AR 眼镜、屏下指纹识别、手机摄像头、高端照明、光谱仪、医疗器械等。GremanLitho 有限公司的纳米压印技术提供了12 英寸面积上优于20 纳米精度和 10 比 1 深宽比的纳米光刻全套解决方案，可以被广泛应用在微纳结构产品生产领域。

演讲嘉宾（待更新）
葛海雄（拟请）
（英普林/南京大学）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
刘泽
（武汉大学 教授）
金属微纳成型精密制造

      个人简介：刘泽博士，武汉大学教授，于2007年获哈尔滨工业大学学士学位，2012年获清华大学博士学位，而后在耶鲁大学从事博士后研究，2015年开始任职武汉大学。其研究领域为微纳制造与表界面科学，相关成果发表学术论文70余篇，申请及授权发明专利10余项，2017年获国家自然科学二等奖。主要学术成绩：在国际上首次报道了微米以上尺度、室内大气环境的近“零”摩擦（结构超滑）运动；发明了通过超塑性变形直接大面积制造各种金属表面纳米结构的技术。

      摘要：传感器是物联网的最底层和最前沿，目前成熟的传感器主要是基于硅电子微加工技术。随着传感器的小型化发展趋势，实验室开发的高性能新材料传感器在走向应用时往往受困于低成本的精密制造技术。本报告将汇报课题组在金属（合金）微纳成型精密制造领域的一些进展，包括金属超塑性纳米模塑技术的开发、力学机理及其应用初探。

演讲嘉宾（待更新）
田克汉
（北京驭光科技发展有限公司 董事长兼CEO）
微纳光学及其在AR/VR领域的应用

      个人简介：田克汉博士长期从事微纳衍射光学，三维光学系统和半导体精密制造的最前沿研究。田博士于清华大学精密仪器系获得学士和硕士学位，于美国麻省理工学院获得博士学位。田博士曾任职于美国IBM公司TJ Watson研究中心和半导体研发中心，担任资深科学家/研究员（教授级）。田博士回国创立驭光科技，致力于微纳衍射光学器件和三维传感器的研发和产业化工作；为客户提供完整的定制化解决方案，广泛用于智能3D传感识别、机器视觉、AR/VR、智能安防、自动驾驶等众多领域。

      摘要：随着半导体技术的发展，近年来微纳光学在消费电子、安防、车载等很多领域得到广泛应用，尤其在AR和3D领域，报告将主要介绍微纳光学在这些领域的工业化研究和进展。

演讲嘉宾（待更新）
马将
（深圳大学 特聘教授）
微纳尺度精密模芯制造关键技术、装备与应用

      个人简历：深圳大学特聘教授，深圳大学新型金属材料先进制造成型与应用研究中心主任。国家优秀青年基金获得者，主要研究方向为非晶合金的先进制造与应用。在Science Advances等国际期刊上发表学术sci论文60余篇，参与撰写两部英文专著。多次在非晶合金领域国际会议做邀请/口头报告。主持国家自然科学基金、省市级科研项目多项。担任中国电器工业协会非晶合金材料应用分会副秘书长。获得中国非晶与高熵合金杰出青年科学家奖，深圳市海外高层次人才，深圳市优秀教师，深圳大学“荔园优青”等奖励荣誉。

      摘要：利用新型金属非晶态合金超塑性成型机理表现出具有高强度、高精度、高表面光洁度、易于加工成型的优点，通过精确可控的升温系统和快速冷却系统，在超高真空环境下和高温环境下，实现不同材料的微纳精密热力耦合成型。

研究成果主要包括：

1. 新型非晶合金微纳制造成型装备

该设备具有效率高和稳定性好的优点，可大幅提高非晶合金的热塑性成型效率，成型精度。

2.非晶合金的热力耦合制造技术。

该技术包括对材料体系的选择与设计、对工艺参数的精确控制以及径向限位工艺等技术手段，能够有效避免了非晶合金在高温下的晶化、氧化等不良现象带来的影响。

演讲嘉宾（待更新）
陈林森
（苏州大学/苏州苏大维格科技集团 教授）
基于数字化三维光刻的微纳智能制造：现状与展望

      个人简介：苏州大学研究员，苏州苏大维格科技集团董事长。国家863计划重大项目和国家重大科学仪器专项首席专家。中国工程院院士有效候选人（2013年）。主要研究方向：微纳光学及创新应用。

      摘要：报告介绍微纳智能制造前瞻研究、技术创新和应用现状与展望。

信息光子产业是21世纪战略性产业，“微纳智能制造”是推进信息光子产业（元宇宙）发展的必由之路。

微纳智能制造的核心问题是光场数字化。报告人所在团队经多年努力，建立了“基于数字化三维光刻的微纳智能制造”平台，在海量数据处理算法、微纳结构精确制备、光场调控与重构和智能复制等方面，突破了百Tb数据量实时计算瓶颈、自主研制成功“网络协同的紫外三维计算光刻装备”（全球首台）和“卷对卷套准纳米压印光刻设备”工业运行，列举了微纳智能制造赋能“新型显示（裸眼3D显示）、增强现实AR、平面成像器件和柔性光电子材料”产业创新与应用的实例。

报告认为，“一代装备、一代器件、一代产业”，微纳智能制造正成为信息光电子、光场计算成像和元宇宙等赛道的新引擎，有望催生更多新产品、培育新产业，提升我国信息光子产业自主创新能力与国际竞争力。

演讲嘉宾（待更新）
郭文瑞
（新维度微纳科技）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
Gabi Grützner （拟请）
（MRT, CEO）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
程鑫（拟请）
（南方科技大学）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
刘红忠
（西安交通大学 教授）
材料-结构一体化的结构场协同调控纳米压印技术研究

      个人简历：西安交通大学特聘教授，博士生导师。中组部“万人计划”科技创新领军人才，国家杰出青年基金获得者，科技部中青年科技创新领军人才。获得2014年教育部技术发明一等奖（第一完成人）、2021年陕西省科技进步一等奖（第一完成人）。近年来，围绕国家重大需求，聚焦智能传感与微纳制造领域的基础理论和技术应用研究，主持国家公关项目、重点研发计划、重大专项等十余项，发表论文140余篇，其中SCI收录100余篇，授权发明专利80余项。

      摘要：结构场协同调控纳米压印技术，起源于纳米压印复形方法，微纳结构复形能力从深亚微米提升到亚十纳米的工业化制造。面对智能传感器对纳米级特征、多材料体系的三维微纳结构需求，外能场协同调控材料梯度化分布，实现微纳三维结构的近零压印力约束复制。该技术突破了传统光刻技术的半波长效应，推进了材料-结构-功能一体化微纳器件制造技术的发展，提升了智能感知、微纳传感器、广义芯片等领域的制造能力。

演讲嘉宾（待更新）
罗锋
（南开大学材料科学与工程学院 讲席教授）
纳米压印技术在半导体领域的应用

      个人简介：罗锋，南开大学材料科学与工程学院/电子信息与光学工程学院讲席教授。罗锋现任南开大学材料科学与工程学院讲席教授，西安交通大学兼职讲座教授(2018-2020)。1995 年至 2004 年就读于北京大学化学与分子工程学院，获学士和博士学位。2004年至 2009年在德国和瑞士从事博后工作，2009年至2010年在北京大学工学院担任PI特聘研究员。2010年至2020年就职于西班牙高等研究院纳米研究所，历任副研究员、研究员、终身制资深研究教授，2020 年至今就职于南开大学，先后入选欧盟玛丽居里学者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批国家重大人才项目等，目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员，深圳产业光源集成电路板块顾问，上海光源用户委员会委员，兰州航空集成电路与新材料研究院理事。

      摘要：简要回顾纳米压印技术，重点介绍其用于半导体领域的图案化器件的微/纳米制造和超精密制造。

演讲嘉宾（待更新）
Patrik Lundstrom （拟请）
（Obducat, CEO）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
李涛
（南京大学 教授）
纳米加工赋能的超构成像技术与器件

       个人简历：

演讲嘉宾（待更新）
Stella W. Pang
（香港城市大学 首席教授）
用于等离子体共振传感器和超器件的纳米压印技术

      个人简介：Stella W. Pang 是中国香港城市大学的首席教授，担任电气工程系生物系统、神经科学和纳米技术中心主任。她完成了400余篇技术文章、书籍章节和受邀演讲，拥有10项纳米技术和微系统专利，并有4项新专利提交待审。她的主要研究兴趣包括生物医疗、微电机、太赫兹和metadevice（超器件）领域的纳米制造技术。彭教授还是电气电子工程师学会（IEEE）、电化学学会（ECS）、AVS和香港工程师学会（HKIE）的会员。

      摘要：各种设计的纳米结构已经在高性能生物传感器和超器件行业得到了运用。生成这些纳米结构以及其他器件组件将需要快速、均匀并且可重复的纳米技术。纳米压印技术的成功研发已经使得许多应用得以实现。选择合适的印章和材料进行压印，就能通过控制所有相接触的表面的表面能来实现直接纳米压印或反转纳米压印。将多层纳米结构按照需要的设计堆叠在一起，就能形成具有独特特性和功能的三维（3D）器件。本次演讲将展示用于检测细胞和生物分子的高灵敏度3D生物传感器。纳米结构可以用来影响细胞迁移行为。此外，超表面将能通过纳米压印实现。这些超表面将被纳入到高频太赫兹透镜和天线的设计中，并形成用于光线操纵的手性魔角。

演讲嘉宾（待更新）
陈宜方
（复旦大学 教授）
纳米压印的基础工艺研究与应用

      个人简历：陈宜方教授于1995年获得英国牛津大学凝聚态物理系博士学位。曾经在荷兰代尔夫特理工大学(1994-1996)、新加坡南洋理工大学(1996)和英国格拉斯哥大学(1997-2002)从事博士后研究工作。2003年至2012年他受聘于英国卢瑟福阿普尔顿实验室的高级科学家并被晋升为纳米科技首席科学家；他是瑞士洛桑理工大学访问教授（2010）和英国国家物理实验室高级访问研究员(2016-2019)。2012年他作为国家海外高端引进人才加盟复旦大学并于2018年获得国务院政府特殊津贴。陈宜方博士自1990年起，长期从事纳米加工与应用的基础研究，运用电子束光刻/纳米压印/干刻蚀等工艺手段服务于新型纳米光电器件与芯片、InP基高电子晶体管、X射线关键光学部件研制、基于超表面材料的偏振器和涡旋光调控器件、二维纳米光子晶体等方面的基础研究。尤其是在X射线纳米显微镜的关键光学部件研制中，他领导的团队填补了国家空白，并成功研发了15纳米分辨率的新型X射线透镜，达到了国际先进水平。发表了150余篇SCI论文，获得10项国家专利授权。他是Elsevier的微电子工程期刊副主编、欧洲研究院（ERC）远程评审专家等。

      摘要：本报告综述了我们团队研发纳米压印技术研制纳米电子器件、纳米超材料和其它纳米结构等工作。报告展示并讨论了大高宽比纳米压印模板制备、剩余胶去除、热压印中的图形扭曲等技术难题的成功解决方法。在纳米模板制备中，展示了多步骤刻蚀方法形成硅基微尖阵列、纳米光子手性材料、大高宽比SiC模板和三维多台阶结构等工艺手段；双层胶纳米压印工艺的研发使得我们实现非侵入式去除压印剩余胶并且研发T型栅的纳米制造工艺，继而在国际上首次成功研制了InP基高电子迁移率晶体管；在HSQ材料上我们独立完成了室温纳米压印，避免了热压印固有的图形转移扭曲的困惑；在SU-8材料上进行的室温紫外固化压印工艺被成功应用到大高宽比光栅的制备、DNA的纳米标识技术、纳米流体器件、纳米光子晶体超材料和生物传感器等多个方面。所有这些基础工艺的研发为当今工业化应用与发展奠定了坚实的基础。

演讲嘉宾（待更新）
罗先刚院士（拟请）
（中科院光电技术研究所）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
Lars Montelius (拟请)
（欧盟国际纳米实验室主任；Obducat公司创建人）
TBD
演讲嘉宾（待更新）
徐红星院士(拟请)
（武汉大学）
TBD
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